快速降温 超低温水汽捕集泵真空深冷机

超低温水汽捕集泵真空深冷机

用于原理：

在使用油扩散泵、分子泵抽真空的过程中，空间中80%以上的残余气体是水蒸气、油蒸气以及一些高沸点的蒸汽，这类残余气体在高真空状态下，抽取难度大、速度慢，而且残余气体的存在不仅会影响真空度也会污染生产实验工件，深冷机可有效解决这类问题, 在真空度 10-2 至 10-8 pa 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，提高真空度、提高产品品质，加快抽速提高生产效率。

在真空室中或油扩散泵的泵口，放置一个能迅速达到-120℃以下的制冷装置（盘管或冷阱），通过其表面的深低温冷凝能力，迅速将真空腔体内的残余气体附着，从而大大缩短抽真空的时间（可缩短50-80%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。

超低温水汽捕集泵真空深冷机

永佳真空深冷机不同型号规格

型 号

ZK-1100D12

ZK-1100D16

ZK-1100D16L

ZK-1100D18

ZK-1100D18L

功率（KW）

10

14

14

18

18

最大制冷量（W）（-100℃）

2000

3000

3000

4000

4000

电 源

380V，50HZ

抽速L/S

149200

238200

238200

372500

282000

预冷时间（min）

30

除霜时间（min）

≤3

≤3

≤3

≤4

≤4

再降温时间（min）

≤3

≤3

≤3

≤3

≤3

低温管表面积（㎡）

1

1.8

1.5

2.5

2

低温管规格

20m

38m

双路15m

50m

双路20m

冷却方式

水冷，水温≤30℃

冷水流量（t/h）

1.6

2.5

2.5

3

3

冷水接口尺寸（mm）

16

16

16

19

19

需冷水机功率（HP）

5

8

8

10

10

适用油泵直径（mm）

≤800

≤900

≤600

1000或1200

≤800

适用真空腔室直径（mm）

≤1300

≤1500

≤1000

≤1800

≤1500

永佳真空深冷机适用领域：

1半导体 2太阳能薄膜制程 3光纤市场 4平板显示 5装饰镀膜、卷绕镀膜、光学镀膜

超低温水汽捕集泵真空深冷机